Plasmapuhdistimen rakenne

Plasmapuhdistimen rakenne koostuu kolmesta pääkomponentista: ohjausyksiköstä, tyhjiökammiosta ja tyhjiöpumpusta. Keskustellaan näistä kolmesta komponentista:
1. Ohjausyksikkö
Kiinassa käytetyissä plasmanpuhdistimissa, myös maahantuoduissa, on neljän päätyypin ohjausyksiköt: puoli-automaattinen, täysautomaattinen, PC-ohjattu ja LCD-kosketusnäyttö.
Ohjausyksikkö on edelleen jaettu kahteen pääosaan:
1) Virtalähde: Virtalähteitä on kolme päätaajuutta: 40 kHz, 13,56 MHz ja 2,45 GHz. 13,56 MHz virtalähde vaatii virtalähteen.
2) Järjestelmän ohjausyksikkö: Niitä on kolmea tyyppiä: paino-painikeohjaus (puoliautomaattinen ja täysautomaattinen{2}}), tietokoneohjaus ja PLC-ohjaus (LCD-kosketusnäyttö).
2. Tyhjiökammio:
Tyhjiökammiot valmistetaan pääasiassa kahdesta materiaalista:
1) Ruostumattomasta teräksestä valmistettu tyhjiökammio.
2) Kvartsikammio.
3. Tyhjiöpumppu:
Tyhjiöpumput jaetaan kahteen tyyppiin:
1) Kuivapumppu.
2) Öljypumppu.